ප්ලාස්මා-රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PECVD) ක්රියාවලියේදී, RF බල සම්ප්රේෂණයේ සිට ක්රියාවලි වායු පාලනය දක්වා සෑම විද්යුත් සම්බන්ධතාවයක්ම තුනී පටල තැන්පත් වීමේ සහ චිප අස්වැන්නේ ඒකාකාරිත්වයට සෘජුවම බලපායි. කුඩා කළ උපකරණවල කටුක පරිසරය, ඉහළ රික්තය සහ ශක්තිමත් විද්යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් වලට මුහුණ දීම,වාගෝ"සංයුක්තතාවය, විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව" යන මූලික වාසි තුන සමඟින්, picoMAX® සම්බන්ධක, PECVD පද්ධති සඳහා කදිම සම්බන්ධතා විසඳුම බවට පත්ව ඇත.
නව්ය සංයුක්ත නිර්මාණය
නිරවද්ය කුටීර පිරිසැලසුම් වලට අනුවර්තනය වීම
PECVD උපකරණවල අභ්යන්තර අවකාශය සීමිත වන අතර, ප්රතික්රියා කුටිය වටා බලය, සංඥා සහ සංවේදක රේඛා ඝන ලෙස සැකසීම අවශ්ය වේ. picoMAX® තනි-වසන්ත, ද්විත්ව ක්රියාකාරී සැලසුමක් භාවිතා කරන අතර, 3.5/5.0/7.5mm බහු පින් තාරතා ඇත. සංසර්ගයෙන් පසු, එය පෙර නිෂ්පාදනවලට වඩා 30% අඩු ඉඩක් ලබා ගනී, කුටිය වටා රැහැන් අවශ්යතාවලට පරිපූර්ණ ලෙස අනුගත වේ. එහි සිදුරු-වර්ගයේ සම්බන්ධකය පින් ශීර්ෂයේ සම්පූර්ණයෙන්ම පාහේ තැන්පත් කර ඇති අතර, කණු අහිමි නොවී පැත්තකින් පැත්ත එකලස් කිරීම සඳහා සහාය වන අතර, පරිපථ පුවරු භාවිතය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරන අතර ක්රියාවලි වායු ප්රවාහ ක්ෂේත්රයට බාධා නොකර සංඥා සහ බල රේඛා පිළිවෙලට සැකසීමට ඉඩ සලසයි.
අධික මෙහෙයුම් තත්වයන්ට එරෙහිව ශක්තිමත් ආරක්ෂාවක්
PECVD ක්රියාවලීන්හි ඉහළ රික්තක, ඉහළ සංඛ්යාත ප්ලාස්මා සහ කම්පන පරිසරයන් ඇතුළත් වන අතර, සම්බන්ධක විශ්වසනීයත්වය සඳහා දැඩි ඉල්ලීම් ඉදිරිපත් කරයි. picoMAX® හි 12g දක්වා කම්පන ප්රතිරෝධයක් සහිත ස්ථාවර ව්යුහයක් ඇති අතර, ඉහළ සංඛ්යාත කම්පනය නිසා ඇතිවන සම්බන්ධතා ලිහිල් වීම වළක්වයි. එය වැරදි ඇතුළු කිරීම් විරෝධී සැලසුමක් සහ අගුළු දැමීමේ උපාංගයක් ද ඇතුළත් කරයි, ස්ථාපන දෝෂ ඉවත් කිරීම සහ අහම්බෙන් විසන්ධි වීම වැළැක්වීම, අක්රීය කාලයකින් තොරව අඛණ්ඩ උපකරණ ක්රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.
මෙවලම්-නිදහස් ඉක්මන් සම්බන්ධතාවය
picoMAX® මෙවලම්-නිදහස් ඉක්මන්-සම්බන්ධතා තාක්ෂණයෙන් සමන්විත වන අතර, සීතල-පීඩිත සම්බන්ධක සහිත තනි-නූල් සහ බහු-නූල් වයර් දෙකටම "ප්ලග්-ඇන්ඩ්-රොල්ඩ්" සම්බන්ධතා සඳහා ඉඩ සලසයි. සංකීර්ණ රැහැන් සම්බන්ධතා එක් පියවරකින් සම්පූර්ණ කර ඇති අතර, එකලස් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරන අතර නිදොස් කිරීමේ චක්ර කෙටි කරයි. මොඩියුලර් සැලසුම නැවත ප්රවාහ පෑස්සුම් ක්රියාවලීන් සමඟ අනුකූල වන අතර ස්වයංක්රීය නිෂ්පාදනයේ පිරිවැය අඩු කිරීමේ අවශ්යතා සපුරාලයි. එය සියලුම PECVD සම්බන්ධතා අවස්ථා ද ආවරණය කරයි: 3.5mm පින් තාරතාව 0.2-1.5mm² සංඥා වයර් සඳහා ඉඩ සලසන අතර, 5.0/7.5mm පින් තාරතාව 16A විදුලි රැහැන් සඳහා සහය දක්වයි. එය වයර්-ටු-බෝඩ් සහ බිත්ති හරහා ස්ථාපන ක්රම සඳහා සහය දක්වයි, පාලන කැබිනට් සහ කුහර රැහැන් සමඟ අනුකූල වේ, සහ GB/T 5226.1 විදුලි ආරක්ෂණ ප්රමිතීන්ට අනුකූල වේ, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සඳහා ශක්තිමත් ආරක්ෂාවක් ගොඩනඟයි.
නැනෝමීටර මට්ටමේ ක්රියාවලි නිරවද්යතාවය ඉතා වැදගත් වන අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ, විශ්වාසදායක සම්බන්ධතා ඉහළ අස්වැන්නක් සහතික කරයි.වාගෝpicoMAX®, එහි විප්ලවීය නිෂ්පාදන නිර්මාණ සංකල්පය සමඟින්, සංයුක්ත පියසටහනක් තුළ "කුඩා ප්රමාණය, ඉහළ කාර්ය සාධනය" අත්කර ගනිමින්, PECVD උපකරණ සඳහා ස්ථාවර, කාර්යක්ෂම සහ දිගුකාලීන සම්බන්ධතා විසඳුම් සපයයි. මෙය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ට නිරවද්ය ක්රියාවලි සම්බන්ධතා වල අභියෝග ජය ගැනීමට උපකාරී වන අතර, සෑම චිපයකම මයික්රෝමීටර මට්ටමේ නිරවද්යතාවය ආරක්ෂා කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-13-2026